[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统在审
| 申请号： | 201910657139.6 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN112039475A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 隋欢;齐飞;杨国煌 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/13;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315803 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统。包括：第一衬底及设置第一衬底上的支撑层，支撑层中设置有顶部开口的空腔；盖设于空腔上的压电叠层，至少两个沟槽，分布于有效谐振区和无效谐振区的交界处以界定有效谐振区的范围，沟槽包括第一沟槽和第二沟槽，第二沟槽贯穿第二电极和压电层，第一沟槽贯穿第一电极和压电层并与空腔连通。本发明提供的薄膜体声波谐振器在压电叠层中设置至少一个第一沟槽和至少一个第二沟槽，第一沟槽和第二沟槽有效阻断了横波在无效谐振区的传播。进一步的，电极图形化有效减少了寄生谐振，改善了声波损耗，进一步提高薄膜体声波谐振器的品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 射频 通信 系统 | ||
【主权项】：
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