[发明专利]一种高寿命的紫外线曝光机构在审
申请号: | 201910658562.8 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN112241110A | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
发明(设计)人: | 史晓华;刘晓成 | 申请(专利权)人: | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 徐典 |
地址: | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高寿命的紫外线曝光机构,包括机架,其底部为具备孔洞的底板,机架的顶部设有向下照射的紫外线灯;遮光板,通过运动机构与底板固定,运动机构包括水平布置的连接轴,运动机构使遮光板周期性得遮盖在孔洞上方,运动机构包括直线往复伸缩件、连接块,连接块的一端与直线往复伸缩件轴连接,另一端与连接轴垂直固定;挡板,底部与底板接触,挡板的顶部具备水平板,挡板还具备与水平板垂直连接并向下延伸的竖向板,连接轴穿过竖向板,直线往复伸缩件、连接块位于水平板的下方并且在竖向板上背离孔洞的一侧。采用此发明在不影响传动的前提下对大多运动机构起到遮盖,提高了设备寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 寿命 紫外线 曝光 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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