[发明专利]一种热阳极法生产高性能类金刚石的装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种热阳极法生产高性能类金刚石的装置，所述阴极弧源与真空腔体之间通过交流电源连接，且真空腔体的左侧设置有位于前后侧的第三磁场和第二磁场，所述真空腔体的内腔右侧设置有热阳极，且热阳极与左侧的阴极弧源之间设置有隔离板，所述真空腔体上开设有与热阳极对应的气体进入口，且热阳极与真空腔体之间通过直流电源连接。其使用方法包括以下步骤：S1靶材选择、S2热阳极选择、S3气体选择和S4阴极弧源设置。在该发明中，我们使用的是阴极弧源和热阳极来离化含C的气体，其离化电流高达100‑400A,可以稳定的高速沉积含H比较小的致密的优质的金刚石,其含H量小于15％，沉积速度可以达到8微米/小时。

主权项

1.一种热阳极法生产高性能类金刚石的装置，包括真空腔体(1)以及开设在真空腔体(1)后端的出气口，其特征在于：所述真空腔体(1)的内腔左侧设置有阴极弧源(4)，且阴极弧源(4)的前后侧均设置有第一磁场(5)，所述阴极弧源(4)与真空腔体(1)之间通过交流电源连接，且真空腔体(1)的左侧设置有位于前后侧的第三磁场(3)和第二磁场(2)，所述真空腔体(1)的内腔右侧设置有热阳极(7)，且热阳极(7)与左侧的阴极弧源(4)之间设置有隔离板(6)，所述真空腔体(1)上开设有与热阳极(7)对应的气体进入口，且热阳极(7)与真空腔体(1)之间通过直流电源连接。