[发明专利]一种叠层电感的制作方法及制得的器件有效
| 申请号： | 201910658933.2 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110459535B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 林豪;王潮斌;詹智梅;肖俊鹏;陈东仰;郑育新;林张鸿;林伟铭 | 申请（专利权）人： | 福建省福联集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/82;H01L27/06 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐剑兵;郭鹏飞 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种叠层电感的制作方法及制得的器件，其中方法包括如下步骤：涂布第一光阻，进行增强型栅极底部及电感第一金属层底部光刻工艺；涂布第二光阻，进行增强型栅极顶部及电感第一金属层顶部光刻工艺；沉积金属，形成增强型栅极和电感第一金属层；对增强型栅极和电感第一金属层进行钝化工艺，形成第一钝化层；对耗尽型栅极及与电感第二金属层连接处的氮化物的第一钝化层进行蚀刻开口；涂布第三光阻，进行耗尽型栅极及电感第二金属层光刻工艺；沉积金属，形成耗尽型栅极和电感第二金属层。本方案制备出的螺旋层叠形状的电感，在高频条件下品质因数较佳，也具有较大的电感值。且与现有的晶体管工艺同时进行，不增加工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 制作方法 器件 | ||
【主权项】：
1.一种叠层电感的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：/n在外延片表面沉积源级和漏级金属；/n涂布第一光阻，进行增强型栅极底部及电感第一金属层底部光刻工艺；/n涂布第二光阻，进行增强型栅极顶部及电感第一金属层顶部光刻工艺；/n沉积金属，形成增强型栅极和电感第一金属层；/n对增强型栅极和电感第一金属层进行钝化工艺，形成第一钝化层；/n对耗尽型栅极及与电感第二金属层连接处的氮化物的第一钝化层进行蚀刻开口；/n涂布第三光阻，进行耗尽型栅极及电感第二金属层光刻工艺；/n沉积金属，形成耗尽型栅极和电感第二金属层，电感第二金属层在电感第一金属层上。/n
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