[发明专利]用于制造石墨烯的设备及方法在审
| 申请号： | 201910659332.3 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110255544A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 马哲国;陈金元;王慧慧 | 申请（专利权）人： | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186;C01B32/194;B22D11/01;B22D11/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供用于制造石墨烯的设备以及方法。所述方法包括：将固态铜熔化成铜熔液；接收铜熔液并使铜熔液在以幕帘方式向下流动时生成预设厚度和预设宽度的铜箔；在所生成的铜箔具有预设温度的预设位置处向铜箔供应生长石墨烯所需的各种气体，并通过化学气相沉积工艺在铜箔上生长石墨烯，从而形成石墨烯/铜箔叠层；支撑并载送石墨烯/铜箔叠层；以及接收所述石墨烯/铜箔叠层，并将石墨烯/铜箔叠层上的石墨烯转印到柔性衬底上。本发明的设备以及方法可避免在生长石墨烯之前清洗铜箔，并可利用铜熔液带来的高温来生长石墨烯，还可在生产线上同步进行铜箔的生成、石墨烯的生长和转印，从而有效降低制造成本、提高制造效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 铜箔 铜箔叠层 铜熔液 生长 预设 转印 制造 化学气相沉积 熔化 向下流动 预设位置 制造成本 衬底 幕帘 清洗 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造石墨烯的设备，所述设备包括：铜箔生成装置，其包括：熔铜模块，其用于将固态铜熔化成铜熔液；以及铜箔生成模块，其用于从所述熔铜模块接收所述铜熔液并使所述铜熔液在以幕帘方式向下流动时生成预设厚度和预设宽度的铜箔；石墨烯生长装置，其用于在所生成的铜箔具有预设温度的预设位置处向所述铜箔供应生长石墨烯所需的各种气体，并通过化学气相沉积工艺在所述铜箔上生长石墨烯，从而形成石墨烯/铜箔叠层；支撑载送装置，其用于支撑所述石墨烯/铜箔叠层并将所述石墨烯/铜箔叠层载送至石墨烯转印装置；以及所述石墨烯转印装置，其用于接收由所述支撑载送装置所载送的所述石墨烯/铜箔叠层，并将所述石墨烯/铜箔叠层上的石墨烯转印到柔性衬底上。
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