[发明专利]稳态原子束能谱测量系统以及方法有效
| 申请号： | 201910660861.5 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN110244342B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 程健;翟红雨;王梦永 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/36 | 分类号： | G01T1/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稳态原子束能谱测量系统以及方法，使用多栅离子能量分析器和朗缪尔探针结合的方式来测量离子能谱，通过朗缪尔探针测量等离子体空间电位和鞘层电位，并对多栅离子能量分析器的导体外壳施加相应的校正电压来抵消等离子体电位和鞘层电位的影响，从而获得更加准确的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 稳态 原子 束能谱 测量 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种稳态原子束能谱测量系统，其特征在于，所述测量系统包括：发生装置，所述发生装置用于产生原子束；真空测量室，所述真空测量室具有第一通孔以及第二通孔；所述原子束通过所述第一通孔通入所述真空测量室；位于所述真空测量室内的稳态电子枪，所述稳态电子枪用于对所述原子束进行电离，形成待测等离子体；通过所述第二通孔置于所述真空测量室中的朗缪尔探针，所述朗缪尔探针用于对所述待测等离子体的空间电位和鞘层电位进行测量，获取用于计算校正电压的测量结果；位于所述真空测量室内的多栅离子能量分析仪器，所述多栅离子能量分析仪器用于在其导体外壳输入所述校正电压时，测量所述待测等离子体中原子能谱。
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