[发明专利]一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法有效
| 申请号： | 201910663609.X | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110438442B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李明升;张琳英;易家骏;陈土春;吴志诚 | 申请（专利权）人： | 江西科技师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 南昌大牛知识产权代理事务所(普通合伙) 36135 | 代理人： | 喻莎 |
| 地址： | 330100 江西省南昌市新*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法，超硬涂层为四层结构：最内层为纯铌粘结层，厚度为0.05‑0.5微米；次内层为氮化铌过渡层，厚度为0.05‑1.0微米；次外层为梯度层，由内向外氮化铌成分逐渐降低、氮化铌铝钇/氮化硅成分逐渐提高，厚度约0.1‑1.0微米，可防止应力界面上的集中；最外层为氮化铌铝钇/氮化硅复合耐磨层，厚度为1‑10微米；涂层总厚度1.2‑12.5微米。涂层和硬质合金基体结合力达70‑105N，涂层硬度40‑60GPa，摩擦系数0.20‑0.55，涂层抗氧化温度达750℃以上，涂覆微钻或铣刀寿命比未涂覆微钻或铣刀提高4‑8倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 氮化 铌铝钇 硅双相超硬 涂层 及其 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅超硬复合涂层，其特征在于：所述超硬复合涂层为四层结构，最内层为纯铌粘结层，厚度为0.05‑0.5微米；次内层为氮化铌过渡层，厚度为0.05‑1.0微米；次外层为氮化铌‑氮化铌铝钇/氮化硅梯度层，厚度为0.1‑1.0微米；最外层为氮化铌铝钇/氮化硅耐磨层，厚度为1‑10微米；涂层总厚度1.2‑12.5微米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西科技师范大学，未经江西科技师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910663609.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
