[发明专利]一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法有效
| 申请号： | 201910663911.5 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110293223B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 朱琦;席莎;张菊平;王娜;安耿;武洲;何凯;崔玉青 | 申请（专利权）人： | 金堆城钼业股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/02 | 分类号： | B22F3/02;B22F3/14;B22F7/02;B22F3/24 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 马小燕 |
| 地址： | 710077 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，该方法包括：一、向蝶形石墨模具的筒体与下模组成的腔体内装填Mo‑W粉末，采用上模预压形成钼钨粉层；二、向钼钨粉层上装填钨粉形成钨粉层，然后盖上上模进行真空热压烧结，得蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；三、将蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，经机加工得蝶形钼钨双金属复合旋转靶。本发明采用Mo‑W粉末作为复合旋转靶的基体材料，有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度，避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层，延长了复合旋转靶的使用寿命，解决了钼钨金属复合靶的复合压制分层和烧结以及锻打开裂问题，且提高了复合旋转靶的一次成形成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蝶形 双金属 复合 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、向蝶形石墨模具的筒体(1)与下模(2)组成的腔体内预先装填Mo‑W粉末并将Mo‑W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模(5)进行预压，形成钼钨粉层(3)；步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层(3)上装填钨粉并将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层(4)，然后盖上上模(5)进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
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