[发明专利]基板处理装置和基板处理方法在审
| 申请号： | 201910664210.3 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110757336A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 児玉宗久 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;B24B49/10;B24B27/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板处理装置和基板处理方法，能够抑制因对基板进行磨削的工具的磨损导致生产率的下降。基板处理装置具备：控制部，当由位置检测器检测到可动部到达预先设定的速度切换位置时，该控制部使可动部接近基板保持部的接近速度从第一速度减速至比第一速度小的第二速度，使装设于可动部的工具以第二速度与被保持于基板保持部的基板接触，由此实施基板的磨削处理；以及AE传感器，其检测由于装设于可动部的工具与被保持于基板保持部的基板之间的接触而产生的AE波的有无，其中，控制部基于第K(K为1以上的自然数)次的磨削处理中的AE传感器的检测结果，来校正第L(L为比K大的自然数)次的磨削处理中的速度切换位置。 | ||
| 搜索关键词： | 可动部 磨削 基板保持部 基板处理装置 速度切换位置 基板 装设 位置检测器 基板处理 基板接触 检测结果 对基板 检测 磨损 校正 减速 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，具备：/n基板保持部，其具有用于保持基板的保持面；/n可动部，用于对所述基板进行磨削的工具以能够更换的方式装设于该可动部；/n移动驱动部，其使所述可动部沿与所述基板保持部接触和分离的方向移动；/n位置检测器，其检测所述可动部的位置；/n控制部，当由所述位置检测器检测到所述可动部到达预先设定的速度切换位置时，该控制部使所述可动部接近所述基板保持部的接近速度从第一速度减速至比所述第一速度小的第二速度，使装设于所述可动部的所述工具以所述第二速度与被保持于所述基板保持部的所述基板接触，由此实施所述基板的磨削处理；以及/n声发射传感器，其检测由于装设于所述可动部的所述工具与被保持于所述基板保持部的所述基板之间的接触而产生的声发射波的有无，/n其中，所述控制部基于第K次的所述磨削处理中的所述声发射传感器的检测结果，来校正第L次的所述磨削处理中的所述速度切换位置，其中，K为1以上的自然数，L为比K大的自然数。/n
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