[发明专利]一种用于氢同位素气体分析的四极质谱进样系统有效
| 申请号： | 201910664336.0 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110444464B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 何康昊;姜飞;王泽骥;张志;陈闽;安永涛;陈克琳;罗军洪;蔡金光 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;H01J49/04;G01N27/62 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人： | 钟显毅 |
| 地址： | 610200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氢同位素气体分析的四极质谱进样系统，包括四极质谱仪以及与四极质谱仪相连并用于引入离子源的进样系统，所述进样系统包括沿着气体流动方向通过管线依次连接的第一进气口、第一截止阀、第二截止阀、第五截止阀、第一缓冲瓶、第六截止阀、以及设置于所述四极质谱仪上的第一进样阀，并配设相应的惰性气体清洗系统以及分级降压系统。本发明高压样品通过第一进气口进气，并通过第一截止阀和第二截止阀之间的管道进行气源截取，再通过第一缓冲瓶减压后引入离子源，可实现对进样压力的精确调控，提高了同位素分析的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氢同位素 气体 分析 四极质谱进样 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于氢同位素气体分析的四极质谱进样系统，包括四极质谱仪(12)以及与四极质谱仪(12)相连并用于引入离子源的进样系统，其特征在于：所述进样系统包括沿着气体流动方向通过管线依次连接的第一进气口(13)、第一截止阀(1)、第二截止阀(2)、第五截止阀(5)、第六截止阀(6)、以及设置于所述四极质谱仪(12)上的第一进样阀(14)；其中，所述第一进样阀(14)通过管线依次连接有第十截止阀(10)和第一真空泵(15)，所述第二截止阀(2)与所述第五截止阀(5)之间的管线上设置有第一压力规(16)，所述第五截止阀(5)与所述第六截止阀(6)之间的管线上设有第一缓冲瓶(17)，所述第六截止阀(6)与所述第一进样阀(14)之间的管线上设置有第二压力规(18)和惰性气体清洗系统，且所述惰性气体清洗系统位于所述第二压力规(18)的前端；所述惰性气体清洗系统包括沿着气体流动方向依次连接的第二进气口(19)、第三截止阀(3)、第四截止阀(4)、以及第八截止阀(8)，所述第八截止阀(8)与所述第六截止阀(6)和所述第一进气阀(14)之间的管线相连通，所述第四截止阀(4)与所述第八截止阀(8)之间的管线上设置有第二真空泵(20)。
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