[发明专利]利用在参照元件的相对两侧构成的结构特征之间的偏置信息来装配元件载体在审
申请号: | 201910665765.X | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN110783224A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 马尔科·特赖贝尔;马丁·普吕菲尔;卡尔·海因茨·贝施;马赛厄斯·赫德里奇;西尔维斯特·德梅尔;哈拉尔德·施坦兹尔 | 申请(专利权)人: | 先进装配系统有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 11214 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明描述了用于装配元件载体(180)与电子元件(190、490c)的方法和装配机(100)。所述方法包括:(a)采集第一元件的第一侧的第一图像,在该第一元件的第一侧可识别第一结构特征(296a、496a);(b)光学采集第一元件(190、490c)的第二侧的第二图像,在该第一元件的第二侧可识别第二结构特征(294、296b、496b),其中,第一侧与第二侧彼此相对;(c)测定第一结构特征(296a、496a)与第二结构特征(294、296b、496b)之间的空间偏置(c1);(d)光学采集第二元件(190、490c)的一侧的图像;(e)基于所采集的第二元件(190、490c)的一侧的图像,确定第二元件(190、490c)的空间位置;以及(f)基于所确定的第二元件(190、490c)的空间位置以及所测定的空间偏置(c1),将第二元件(190、490c)组装到元件载体(180)上。 | ||
搜索关键词: | 第二元件 第一元件 图像 光学采集 空间位置 可识别 偏置 采集 彼此相对 元件载体 装配元件 装配机 组装 | ||
【主权项】:
1.一种用于装配元件载体(180)与电子元件(190、490c)的方法,所述方法包括:/n光学采集第一元件的第一侧的第一图像,在所述第一元件的第一侧可识别所述第一元件(190、490c)的第一结构特征(296a、496a);/n光学采集所述第一元件(190、490c)的第二侧的第二图像,在所述第一元件的第二侧可识别所述第一元件(190、490c)的第二结构特征(294、296b、496b),其中,所述第一侧与所述第二侧彼此相对;/n测定所述第一结构特征(296a、496a)与所述第二结构特征(294、296b、496b)之间的空间偏置(c1);/n光学采集第二元件(190、490c)的一侧的图像;/n基于所采集的第二元件(190、490c)的一侧的图像,确定所述第二元件(190、490c)的空间位置;以及/n基于所确定的第二元件(190、490c)的空间位置以及所测定的第一元件的第一结构特征(296a、496a)与第二结构特征(294、296b、496b)之间的空间偏置(c1),将所述第二元件(190、490c)组装到所述元件载体(180)上。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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