[发明专利]MEMS型静态闭环光谱成像系统

摘要

本发明公开了一种MEMS型静态闭环光谱成像系统，涉及光谱成像技术领域，该光谱成像系统将宽带光源和MEMS微镜阵列联合使用，使系统输出光的波长任意可调，系统输出的可调光源通过光纤束耦合进行光纤束照明，与阵列探测器搭配可以实现待测样品大面积高速成像，并且在系统静态条件下即可实现三维光谱成像，无需外部引入复杂移动部件推扫成像；光谱校准系统的加入使得整个系统形成闭环的波长校准结构，可以时刻保障系统输出的波长稳定性，使系统采集到的图像信息更加准确稳定，抗环境干扰能力更强，系统中照明引入光纤束照明方式，可以将狭缝耦合的线光源转换成面阵光源，不但可以实现大面积照射，还可以实现均匀化照射，可进一步提高成像质量。

主权项

1.一种MEMS型静态闭环光谱成像系统，其特征在于，所述MEMS型静态闭环光谱成像系统包括：宽带光源、照明分光系统、MEMS微镜阵列、光纤束、阵列探测器、光谱校准系统、主控电路板、光源驱动电路、微镜驱动电路、阵列探测器控制电路，所述主控电路板分别连接所述光源驱动电路、微镜驱动电路和阵列探测器控制电路；所述光源驱动电路连接并驱动所述宽带光源，所述照明分光系统将所述宽带光源发出的宽带光按照空间分解成按波长排列的光并照射到所述MEMS微镜阵列上，所述MEMS微镜阵列包括沿着色散方向呈阵列形式排布的N个MEMS微镜，N为整数，所述微镜驱动电路连接并驱动所述MEMS微镜阵列中各个MEMS微镜的反射角度使所述MEMS微镜阵列输出相应波长的光，所述MEMS微镜阵列输出的光分别耦合到光纤束和光谱校准系统，所述光纤束的输出端连接准直器作为系统照明照射采集工位处的待测样品，所述光谱校准系统连接所述主控电路板，所述阵列探测器正对所述采集工位处的待测样品，所述阵列探测器控制电路连接并控制所述阵列探测器。