[发明专利]一种硅片清洗沥干装置及方法、清洗烘干装置及方法

摘要

本发明公开了一种硅片清洗沥干装置及方法、清洗烘干装置及方法，包括花篮工装、沥干支架、提升机构和烘干支架；沥干支架具有沥干倾斜面，烘干支架具有烘干倾斜面；烘干支架设置在烘干槽的底部，沥干支架设置在清洗槽中，且能相对清洗槽进行升降；花篮工装底部能倾斜放置在沥干倾斜面或烘干倾斜面上，花篮工装用于设置硅片。通过搬运时和搬运后形态的改变，使水残留在硅片间移动，破坏水体张力，减少水分残留。本申请能使清洗的硅片，在烘干前，快速进行沥水，沥除多余残水，节省烘干时间，在保证烘干质量的前提下，提高产能。同时，在烘干前，硅片底部无水体残留，从而进一步节省烘干时间，提升烘干效果。

主权项

1.一种硅片清洗沥干装置，其特征在于：包括清洗槽、沥干支架和至少一个花篮工装；所述清洗槽盛有清洗介质，所述沥干支架和至少一个花篮工装均位于所述清洗槽内，所述花篮工装用于设置硅片，所述沥干支架具有与清洗介质液面之间成第一夹角的至少一个沥干倾斜面，所述花篮工装与所述沥干倾斜面相配合；所述沥干支架能相对于所述清洗槽升降，所述沥干支架带动所承托的花篮工装上升，使设置于所述花篮工装的硅片靠近所述清洗槽底部的至少一个边缘与所述清洗介质液面之间成第二夹角；所述第一夹角和所述第二夹角均大于0°且小于90°。