[发明专利]集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法

摘要

本发明提供一种集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法。集尘罐包括：罐体；过滤装置，位于罐体内；过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯；过滤芯一端与隔离盘相连接且过滤芯的开口暴露于隔离盘的表面，另一端向罐体的下部延伸；进气口位于罐体下部的侧壁上，排气口位于罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于罐体内；清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；驱动装置，与清洁装置的连接杆相连接，用于驱动清洁装置上下移动以对过滤芯的侧壁进行清洁。本发明的集尘罐可以在每次工艺生产结束后，利用其自带的清洁装置对过滤芯表面进行清洁，有助于提高过滤芯表面的清洁度、延长真空泵的使用寿命，有利于降低人力成本和保障人员健康。

主权项

1.一种集尘罐，其特征在于，所述集尘罐包括：罐体，所述罐体上具有进气口、排气口及除尘口；过滤装置，位于所述罐体内；所述过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯，所述隔离盘将所述罐体分隔成上部和下部；所述过滤芯一端与所述隔离盘相连接且所述过滤芯的开口暴露于所述隔离盘的表面，另一端向所述罐体的下部延伸；所述进气口位于所述罐体下部的侧壁上，所述排气口位于所述罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于所述罐体内；所述清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；所述连接杆与所述固定板相连接，且所述连接杆贯穿所述隔离盘并向所述罐体的上部延伸；所述固定板位于所述隔离盘的下方；所述清洁单元与所述固定板相连接，且与所述过滤芯的侧壁相接触；驱动装置，与所述清洁装置的连接杆相连接，用于驱动所述清洁装置上下移动以对所述过滤芯的侧壁进行清洁。