[发明专利]基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置及方法。铌酸锂晶片上有一对斜指电极，中央布置有玻璃液槽；液态光敏预聚物置于玻璃液槽内；UV固化灯置于铌酸锂晶片下方。两个斜指换能器上加振幅变化、具有相位差且相位差变化的激励信号，两侧激励信号产生的声表面波叠加到液态光敏预聚物，形成峰谷高度变化/峰线谷线变化的可调变间距微阵列结构，通过紫外光照射使其固化成形。本发明能实现快速、可调控地制造微阵列结构，具有操作简便、生产效率高、结构可调控等特点。

主权项

1.一种基于斜指换能器的可变间距微结构的制备装置，包括铌酸锂晶片(1)、叉指电极、玻璃液槽(3)和UV固化灯(5)，在铌酸锂晶片(1)上表面的两侧光刻有一对叉指电极，在铌酸锂晶片(1)上表面的中间布置有玻璃液槽(3)，玻璃液槽(3)中有液态光敏预聚物(4)，UV固化灯(5)置于玻璃液槽(3)正下方，一对叉指电极对称布置在玻璃液槽(3)的两侧；其特征在于：所述的叉指电极为斜指电极(2)，斜指电极(2)为由两个手指形电极交叉交错布置构成，手指形电极的每根电极指的指宽、相邻电极指之间的间隙统一均从一侧的手指形电极到另一侧的手指形电极由细到粗逐渐变化；斜指电极(2)与铌酸锂晶片(1)构成声表面波斜指换能器，信号发生器的输出通道与声表面波斜指换能器的两个斜指电极(2)相连；通过信号发生器向两侧的两个斜指电极(2)施加不同频率的激励信号时，在不同指宽所在位置产生不同波长的声表面波。/n