[发明专利]一种基于探针自身重力的形貌测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910672976.6 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110514138A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;王飞;刘剑坤;李少博;程碧瑶 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 范巍<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于探针自身重力的形貌测量系统及方法，位移台能够驱动待测样品在水平面内做扫描运动；探针设置支撑装置上并于位移台上放置的待测样品的上方，探针的轴线竖直，并在支撑装置上能够沿竖直方向自由移动，下端为针尖，针尖能够竖直压在待测样品表面，上端与反光镜垂直连接，反光镜呈水平设置，激光器与位置灵敏探测器分别设置于反光镜上方的两侧，激光器发射出的激光能够经反光镜反射后被位置灵敏探测器接收；当位移台驱动待测样品在水平面内做扫描运动时，探针会随着待测样品表面的高低起伏而上下移动。本发明结构简单，成本低，依据新式的测量原理，只需位移台和位移测量光路即可测量样品的三维形貌，测量分辨率可达纳米量级。 | ||
| 搜索关键词： | 待测样品 反光镜 探针 位移台 竖直 位置灵敏探测器 扫描运动 支撑装置 针尖 位移测量光路 测量分辨率 激光器发射 驱动 测量原理 垂直连接 高低起伏 纳米量级 三维形貌 上下移动 水平设置 形貌测量 激光器 上端 下端 反射 测量 激光 | ||
【主权项】：
1.一种基于探针自身重力的形貌测量系统，其特征在于，包括激光器(1)、位置灵敏探测器(3)、反光镜(4)、探针(5)、位移台(7)和支撑装置，位移台(7)上能够放置待测样品(6)，位移台(7)能够驱动待测样品(6)在水平面内做扫描运动；所述探针(5)设置所述支撑装置上并于位移台(7)上放置的待测样品(6)的上方，探针(5)的轴线竖直，探针(5)在所述支撑装置上能够沿竖直方向自由移动，探针(5)的下端为针尖，针尖能够竖直压在待测样品(6)表面，探针(5)的上端与反光镜(4)垂直连接，反光镜(4)呈水平设置，激光器(1)与位置灵敏探测器(3)分别设置于反光镜(4)上方的两侧，激光器(1)发射出的激光能够经反光镜(4)反射后被位置灵敏探测器(3)接收；当位移台(7)驱动待测样品(6)在水平面内做扫描运动时，探针(5)会随着待测样品(6)表面的高低起伏而上下移动。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910672976.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
