[发明专利]一种宽域氧传感器电极在审
| 申请号： | 201910675348.3 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110346431A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 黄海琴;陈圣龙;朱卫兵;陶建兵;韩旭;宋能昊 | 申请（专利权）人： | 莱鼎电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 刘巍 |
| 地址： | 226500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽域氧传感器电极，其技术方案要点是一种宽域氧传感器电极，其芯片结构包括扩散障层、信号层和加热层，从上到下依次叠合后烧结而成，该宽域氧电极采用独特的制备方法，通过调整Pt、Rh、ZrO2、玻璃粘结剂等物质的含量制备活化电极浆料，使得该电极具备良好的活性。该宽域氧传感器电极的电极与氧化锆基体的附着力很好，使之具备优良的热冲击性，设计的独特的宽域氧传感器结构，使得该宽域氧传感器信号测量更加稳定和准确。 | ||
| 搜索关键词： | 宽域氧传感器 电极 制备 附着力 技术方案要点 玻璃粘结剂 氧化锆基体 从上到下 活化电极 扩散障层 热冲击性 芯片结构 信号测量 烧结 加热层 信号层 氧电极 叠合 浆料 宽域 | ||
【主权项】：
1.一种宽域氧传感器电极，其芯片结构包括扩散障层(111)、信号层(112)和加热层(113)，从上到下依次叠合后烧结而成，其特征在于：所述扩散障层(111)为不受狭缝扩散障(1)影响的多孔扩散障(1)结构；所述信号层(112)从上到下依次包括活化电极(2)、氧化锆基体(4)和内电极(5)，所述活化电极(2)同一水平面处设置有第一绝缘层(3)，所述内电极(5)同一水平面处设置有第二绝缘层(6)，所述活化电极(2)导出孔与内电极(5)相连；所述加热层从上到下依次包括参比气通道(7)、加热电极(9)和加热器基体(11)，所述参比气通道(7)和加热电极(9)中间设置有第三绝缘层(8)，所述加热电极(9)和加热器基体(11)中间设置有第四绝缘层(10)，所述加热电极(9)导出孔和加热器基体(11)相连引出导电引角(12)。
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