[发明专利]一种靶材绑定检测系统、靶材绑定检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910675532.8 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110607507B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 郭宜煌;陈维;郭经军;李丹 | 申请（专利权）人： | 安捷睿（厦门）机器人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;G01F22/00 |
| 代理公司： | 深圳市达文创新知识产权代理事务所(普通合伙) 44396 | 代理人： | 芮爽 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材绑定检测系统、装置及方法，其中，该装置包括控制单元、与控制单元连接的输送控制单元和防溢出单元；输送控制单元响应控制单元发出的绑定控制指令控制输送装置由下至上输送液态绑定材料至填充腔中；防溢出单元检测填充至填充腔中的液态绑定材料的液面是否升至最高靶材的平面，并当液面升至最高靶材平面时产生一防溢出信号，使控制单元响应防溢出信号控制输送控制单元停止驱动输送装置向填充腔中输送液态绑定材料。通过本发明，由下至上导入绑定材料使得填充均匀，同时能够确保绑定充分的同时防止绑定填充材料的浪费、以及填充液溢出造成的靶材污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 检测 系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材绑定检测装置，用于对靶材绑定设备进行靶材绑定检测，其特征在于，所述靶材绑定设备包括底座、垂直固定在所述底座上的背管以及固定连接在所述底座上的输送装置，所述背管用于套装至少一节旋转靶材；所述装置包括：/n控制单元；/n输送控制单元，与所述控制单元连接，用于响应所述控制单元发出的绑定控制指令控制所述输送装置由下至上输送液态绑定材料至填充腔中；其中，所述填充腔为所述背管与套设在其上的靶材之间形成的空腔；/n防溢出单元，与所述控制单元连接，用于检测填充至所述填充腔中的液态绑定材料的液面是否升至最高靶材的平面；以及当所述液面升至最高靶材平面时产生一防溢出信号，并将所述防溢出信号输送至所述控制单元，使所述控制单元响应所述防溢出信号控制所述输送控制单元停止驱动所述输送装置向所述填充腔中输送液态绑定材料。/n
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