[发明专利]偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置有效
| 申请号： | 201910677242.7 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112285028B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 程蕾丽;王健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01J4/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置，所述偏振检测标定方法主要通过替换多个已知偏振性能的标定样品，对每个标定样品，均多次调整第二波片的角度，获得光强探测器对应于每个标定样品在第二波片的多个角度下的光强矩阵，进而根据光强矩阵与标定样品的琼斯矩阵元素及其复共轭乘积的关系，由光强矩阵以及多个标定样品的偏振性能，标定所述第一偏振片、所述第一波片、所述第二波片以及所述第二偏振片的偏振性能。如此，提高了标定精度，从而也提高了偏振检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 检测 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910677242.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
