[发明专利]一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪有效

专利信息
申请号: 201910678189.2 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN112362719B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 卢文成;王向阳;郭光剑;李灵锋;常清;李鹏;汪小知 申请(专利权)人: 苏州微木智能系统有限公司
主分类号: G01N27/622 分类号: G01N27/622;H01J49/04
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 张乐乐
地址: 215163 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种气流流量控制装置及离子迁移谱仪,其中气流流量控制装置包括送气装置、分流装置和第一控流组件,分流装置具有第一内腔和与第一内腔连通的第一进气口及第一出气口,通过分流装置的设置将送气装置送出的一路气流实现分流分成多路气流,供不同的用气设备或者用气设备的不同进气端口进气用;第一控流组件密封连接在第一内腔中且位于第一进气口和第一出气口之间,第一控流组件上开设有多个第一控流孔,多个第一控流孔的孔径不同,由于不同的控流孔在特定的压力下其对应的流量不同,通过第一控流孔的设置可以实现多路气流的流量调节控制;相比于现有的质量流量控制器和针阀、多通阀等,其结构简单,而且流量调节精确,调节操作方便。
搜索关键词: 一种 气流 流量 控制 装置 离子 迁移
【主权项】:
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