[发明专利]树脂镀敷方法以及树脂镀敷用蚀刻浴的管理方法

摘要

本发明涉及树脂镀敷方法以及树脂镀敷用蚀刻浴的管理方法，在使用以锰为有效成分的蚀刻浴的树脂镀敷方法中，提供即使在连续使用时也能维持稳定的蚀刻性能的方法。一种树脂镀敷方法，其为将含有树脂材料的物品作为被处理物使用，包括利用含有锰的酸性蚀刻浴的蚀刻工序、使用钯作为催化剂金属的催化剂赋予工序、和无电镀工序的树脂镀敷方法，其特征在于，还包括将该酸性蚀刻浴中的钯浓度维持在100mg/L以下的工序。

主权项

1.一种树脂镀敷方法，其为将含有树脂材料的物品作为被处理物使用，包括利用含有锰的酸性蚀刻浴的蚀刻工序、使用钯作为催化剂金属的催化剂赋予工序、和无电镀工序的树脂镀敷方法，其特征在于，还包括将该酸性蚀刻浴中的钯浓度维持在55mg/L以下的工序，将酸性蚀刻浴中的钯浓度维持在55mg/L以下的工序通过选自除去吸附于夹具的钯的方法、以及通过阴极电解使蚀刻浴中的钯浓度降低的方法中的一种或两种方法来实施，除去吸附于夹具的钯的方法为在包含含有与钯的稳定常数为2.0以上的化合物的水溶液的钯除去处理液中浸渍夹具的方法，所述与钯的稳定常数为2.0以上的化合物为选自乙二胺、硫脲、乙酰丙酮、环己酮肟和二苯甲酮肟中的至少一种，在通过阴极电解使蚀刻浴中的钯浓度降低的方法中，阴极电流密度为10A/dm²以上且50A/dm²以下。