[发明专利]薄膜电池的制备方法及薄膜电池

摘要

公开了一种薄膜电池的制备方法及薄膜电池，方法包括干式蚀刻硅晶片形成多个微电池图案阵列，局部化硼掺杂和磷掺杂所述微电池图案阵列，转移层无间隙接触所述微电池阵列以从硅晶片分离所述微电池阵列，转移层将微电池阵列转移到聚酰胺层，然后剥离所述转移层，在聚酰胺层上喷墨印刷高度与微电池高度一致的导电层使得所述导电层邻接所述微电池阵列且形成电互联，层压形成柔性背板，在导电层上以微电池为中心套准印刷预定间距和预定高度的支承层，在微电池和两侧的支承层上间隙涂布透明的硅树脂粘合剂，球形透镜经由所述硅树脂粘合剂相对于微电池对准固定，涂布甲基丙烯酸甲酯层以覆盖所述球形透镜、支承层和导电层。

主权项

1.一种薄膜电池的制备方法，其包括如下步骤：干式蚀刻硅晶片形成多个微电池图案阵列，局部化硼掺杂和磷掺杂所述微电池图案阵列，光刻所述硅晶片以形成多个预定长度和宽度的微电池阵列，钝化微电池侧壁以及各向异性蚀刻微电池侧壁和底部使得微电池的厚度小于预定厚度，转移层无间隙接触所述微电池阵列以从硅晶片分离所述微电池阵列，转移层将微电池阵列转移到聚酰胺层，然后剥离所述转移层，其中，所述转移层包括接触所述微电池阵列的聚二甲基硅氧烷膜和玻璃纤维膜，所述聚酰胺层经由含有银颗粒的粘合层固定所述微电池阵列，在聚酰胺层上喷墨印刷高度与微电池高度一致的导电层使得所述导电层邻接所述微电池阵列且形成电互联，层压形成柔性背板，丝网印刷金属线于柔性背板上，然后在柔性背板上沉积图案化电介质层，聚酰胺层设置在在所述柔性背板上，在导电层上以微电池为中心套准印刷预定间距和预定高度的支承层，在微电池和两侧的支承层上间隙涂布透明的硅树脂粘合剂，球形透镜经由所述硅树脂粘合剂相对于微电池对准固定，涂布甲基丙烯酸甲酯层以覆盖所述球形透镜、支承层和导电层。