[发明专利]基于空气耦合超声的薄膜面密度测量方法及测量系统在审

专利信息
申请号: 201910681242.4 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN110441400A 公开(公告)日: 2019-11-12
发明(设计)人: 米源;吴大伟;李晓牛;刘威;曹腾;张园豪;陈韦岑 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: G01N29/11 分类号: G01N29/11;G01N29/44
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 贺翔
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种基于空气耦合超声的薄膜面密度测量方法及测量系统,其中方法包括测量激励信号在空气中传播得到的第一衰减信号的能量;测量所述激励信号经过多层介质薄膜后得到的第二衰减信号的能量,多层介质薄膜位于空气耦合超声换能器的信号发射换能器和信号接收换能器之间;根据第一衰减信号和第二衰减信号的能量差异,计算多层介质薄膜的测量位置聚焦点处的面密度值;变换空气耦合超声换能器的位置,重复执行上述步骤,得到多层介质薄膜不同测量位置聚焦点处的面密度值,通过取平均值得到多层介质薄膜的面密度。利用本发明基于空气耦合超声手段测量多层弹性介质薄膜面密度,有利于实现涂炭铝箔表面碳层涂覆质量的无损、快速评价,提高制备质量和制备效率。
搜索关键词: 多层介质薄膜 空气耦合 衰减信号 薄膜面 超声 超声换能器 测量位置 测量系统 激励信号 密度测量 测量 换能器 聚焦点 制备 弹性介质 快速评价 铝箔表面 能量差异 信号发射 信号接收 重复执行 多层 碳层 涂覆 无损 传播
【主权项】:
1.基于空气耦合超声的薄膜面密度测量方法,其特征在于,包括S1、测量激励信号在空气中传播得到的第一衰减信号的能量,所述激励信号由信号发生器发出,经过功率放大器后,由空气耦合超声换能器的信号发射换能器发射,在空气中传播后由所述空气耦合超声换能器的信号接收换能器接收,得到所述第一衰减信号;S2、测量所述激励信号经过多层介质薄膜后得到的第二衰减信号的能量,所述多层介质薄膜位于所述信号发射换能器和所述信号接收换能器之间;S3、根据所述第一衰减信号和所述第二衰减信号的能量差异,计算所述多层介质薄膜的测量位置聚焦点处的面密度值;S4、变换所述空气耦合超声换能器的位置,重复执行S1~S3,得到所述多层介质薄膜不同测量位置聚焦点处的面密度值,通过取平均值得到所述多层介质薄膜的面密度。
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