[发明专利]基板检测设备及其检测方法在审
| 申请号： | 201910681802.6 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110490929A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郝鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/70 | 分类号： | G06T7/70;G03F7/00 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板检测设备及其检测方法，所述检测方法包括：获取基板的位置；检测并获取残留物信息；以及根据所述残留物信息，判断所述位置的清洁度，并反馈结果。本发明通过光学显微镜进行定位后，启动光阻检测装置对所需位置进行光阻残留检测，可以实现检测完就反馈，简单高效，同时利用机械臂移动检测装置到待检测的位置，相比于传统的方式，大尺寸面板可以不用切片就可执行无损检测的操作，兼顾了耗材利用率与测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 光阻 基板检测设备 移动检测装置 清洁度 大尺寸面板 光学显微镜 残留检测 测量效率 反馈结果 检测装置 无损检测 传统的 机械臂 可执行 耗材 基板 切片 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测设备的检测方法，其特征在于，包括：/n获取基板的位置；/n检测并获取残留物信息；以及/n根据所述残留物信息，判断所述位置的清洁度，并反馈结果。/n
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