[发明专利]掺杂氧化钨靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201910683562.3 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110357626B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 孟政;余刚;代强;汪洪 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 刘铁生;孟阿妮 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明是关于一种掺杂氧化钨靶材及其制备方法，其制备方法包括：将氧化钨活化并粉磨,得到活化氧化钨；将掺杂氧化物活化并粉磨，得到活化掺杂氧化物，其中，所述掺杂氧化物为钛、镍、钽、铼、铱、钼、铌、硅、锡、锌、锆和锗中一种或多种组成的氧化物；将所述的活化氧化钨和活化掺杂氧化物混合均匀，压制，得到坯体；将所述的坯体烧结，得到掺杂氧化钨靶材；其中，所述的活化氧化钨与活化掺杂氧化物的粒度比与摩尔比的关系式如下： |
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| 搜索关键词： | 掺杂 氧化钨 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂氧化钨靶材的制备方法，其特征在于，其包括：将氧化钨活化并粉磨,得到活化氧化钨；将掺杂氧化物活化并粉磨，得到活化掺杂氧化物，其中，M为钛、镍、钽、铼、铱、钼、铌、硅、锡、锌、锆和锗中的一种或多种；将所述的活化氧化钨和活化掺杂氧化物混合均匀，压制，得到坯体；将所述的坯体烧结，得到掺杂氧化钨靶材；其中，所述的活化氧化钨与活化掺杂氧化物的粒度比与摩尔比的关系式如下：![]()
式中：Rw为活化氧化钨的半径；RM为活化掺杂氧化物的半径；nw为活化氧化钨的摩尔数；nM为活化掺杂氧化物的摩尔数；Mw为活化氧化钨的摩尔质量；MM为活化掺杂氧化物的摩尔质量；ρw为活化氧化钨的密度；ρM为活化掺杂氧化物的密度。
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