[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、生物识别器件、显示装置

摘要

本申请提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、生物识别器件、阵列基板、显示装置，应用于显示技术领域，以降低在诸如玻璃等非单晶硅材料的衬底基板上制备单晶硅薄膜晶体管的工艺难度。该制备方法包括：提供单晶硅片，单晶硅片包括相对的第一表面和第二表面；在单晶硅片的第一表面与第二表面之间内形成气泡层，气泡层与第二表面之间形成具有目标厚度的单晶硅薄膜；提供基板，通过使单晶硅片在气泡层处断裂，将单晶硅薄膜转移至基板上；图案化转移至基板上的单晶硅薄膜，形成薄膜晶体管的有源层。上述制备方法应用于薄膜晶体管的制备中。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括：提供单晶硅片，所述单晶硅片包括相对的第一表面和第二表面；在所述单晶硅片的第一表面与第二表面之间内形成气泡层，所述气泡层与所述第二表面之间形成具有目标厚度的单晶硅薄膜；提供基板，通过使所述单晶硅片在所述气泡层处断裂，将所述单晶硅薄膜转移至所述基板上；图案化转移至所述基板上的单晶硅薄膜，形成薄膜晶体管的有源层。