[发明专利]一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法

摘要

本发明公开了一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法，包括如下步骤：(1)根据工件的加工要求确定工件的理论面形；(2)检测工件的实际面形特征；(3)将工件的实际面形与理论面形相拟合确定工件的面形误差，利用等高线加工法得到等残余误差并将等残余误差分级加工；(4)根据材料的去除分布选择合适参数组合的研抛工具；(5)根据所确定的去除深度从去除函数库中选择合适的工艺参数，规划合适的路径以及合适的进给速度便可实现每一个单层的均匀去除。本发明的加工方法能够更好的实现按需定量去除，材料的去除具有可预见性，因此可以提高加工效率和加工质量。

主权项

1.一种基于梯度弹性研抛工具的面形误差分级修正方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)根据工件的加工要求确定工件的理论面形；(2)使用激光干涉仪检测工件的实际面形特征，确定工件初始面形的最大峰值与谷值的差值PV值与全面形的均方根值RMS值，两者分别表征其表面微形貌的最大峰谷值与微形貌的变化趋势；(3)将工件的实际面形与理论面形相拟合确定工件的面形误差，将面形误差分为两组加工。第一组利用等高线加工法，将工件表面较高区域去除，得到工件等残余面形误差状态，即面形离散点的残留误差量是均匀分布的；第二组加工将等残余面形误差在空间上分为合理的若干层高度组合，保证各层高度均在梯度弹性研抛工具的单位时间内单次去除深度范围内；(4)根据上述参数可确定工件表面材料的去除分布，并由此设计研抛工具梯度层的梯度分布，调节其弹性模量范围，获得其较为适宜的厚度组合，并根据工件材料属性选择磨粒种类、粒径以及配比，选择出相应的研抛工具；(5)通过光栅型路径并给予连续一致的进给速度遍历工件表面便可实现每一个单层的均匀去除。