[发明专利]薄膜压电材料元件及其制造方法、磁头折片组件、硬盘驱动器在审
| 申请号： | 201910685669.1 | 申请日： | 2019-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN110931630A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;饭岛淳 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/33;H01L41/332;G11B5/31;G11B5/55 |
| 代理公司： | 深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种薄膜压电材料元件，包括：层压结构部，其包括下电极膜、层压在下电极膜上的压电材料膜以及层压在压电材料膜上的上电极膜。压电材料膜包括：比上电极膜大的膜尺寸，以及形成在上电极膜侧的上表面上的竖端面和台阶面。竖端面与上电极膜的外围端面平滑相连并且与上表面垂直相交。台阶面与竖端面垂直相交。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 材料 元件 及其 制造 方法 磁头 组件 硬盘驱动器 | ||
【主权项】：
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