[发明专利]薄膜压电材料元件及其制造方法、磁头折片组件、硬盘驱动器有效

专利信息
申请号: 201910685675.7 申请日: 2019-07-28
公开(公告)号: CN110931049B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 熊伟;饭岛淳 申请(专利权)人: 新科实业有限公司
主分类号: G11B5/48 分类号: G11B5/48
代理公司: 深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378 代理人: 宋鹰武
地址: 中国香港新界沙田香*** 国省代码: 香港;81
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摘要: 一种薄膜压电材料元件,包括:层压结构部,其具有下电极膜、层压在下电极膜上的压电材料膜和层压在压电材料膜上的上电极膜;由合金材料形成的下压电材料保护膜;以及由合金材料形成的上压电材料保护膜。下压电材料保护膜和上压电材料保护膜分别形成在层压结构部的下电极膜的下侧和上电极膜的上侧,以将层压结构部夹在中间。
搜索关键词: 薄膜 压电 材料 元件 及其 制造 方法 磁头 组件 硬盘驱动器
【主权项】:
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