[发明专利]微影系统及其操作方法有效
| 申请号： | 201910687144.1 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110824855B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 廖啟宏;吴旻政 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微影系统及其操作方法。提供了包括如下步骤的方法。朝向激发区域射出主液滴及卫星液滴。卫星液滴远离激发区域偏转。激光光束朝向激发区域发射以激发主液滴来产生极紫外光。使用第一光学反射器将极紫外光导引至光罩上，以使得赋予极紫外光具有光罩的图案。使用第二光学反射器将具有此图案的极紫外光导引至晶圆上。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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