[发明专利]一种离心成型装置以及ITO旋转靶材的制备方法有效
申请号: | 201910689033.4 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN110370426B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 张科;陈钦忠;黄田奇;张瑜;李康 | 申请(专利权)人: | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
主分类号: | B28B1/20 | 分类号: | B28B1/20;C04B35/457 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 薛红凡 |
地址: | 350200 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法,属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置,包括离心装置;与所述离心装置相连的电动机;与所述离心装置相连的抽真空装置;所述离心装置内设置有树脂模具;所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部,靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合,提高了ITO旋转靶材的成型效率,解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题,可成型较大尺寸的ITO旋转靶材,有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。 | ||
搜索关键词: | 一种 离心 成型 装置 以及 ito 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离心成型装置,其特征在于,包括离心装置;与所述离心装置相连的电动机;与所述离心装置相连的抽真空装置;所述离心装置内设置有树脂模具;所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部,靠近电动机的部分为树脂模具后半部。
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