[发明专利]一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法有效
申请号: | 201910689703.2 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN110395978B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 张科;陈钦忠;黄田奇;张瑜;李康 | 申请(专利权)人: | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
主分类号: | B28B1/26 | 分类号: | B28B1/26 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 薛红凡 |
地址: | 350200 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法,属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置,包括树脂模具;与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备;与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备;所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。在本发明中,浆料压注设备将ITO浆料压注到树脂模具中,抽滤设备使树脂模具内为负压,在浆料压注设备和抽滤设备的双重加压下,ITO浆料中的水透过超滤膜迅速分离,ITO浆料中的粉体沉积在树脂模具中形成ITO坯体,由于超滤膜的包覆作用,极大的保证了素坯的完整性,提高了素坯的成品率,进而提高了ITO平面靶材的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 成型 装置 以及 制备 ito 平面 方法 | ||
【主权项】:
1.一种抽滤成型装置,其特征在于,包括树脂模具;与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备;与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备;所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。
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