[发明专利]一种金属旋转靶材及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910690077.9 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110394603B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张科;陈钦忠;林志河;曹建亮 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金属旋转靶材及其制备方法和应用，属于集成电路和平面显示制造技术领域。本发明提供的金属旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将金属板坯依次进行铣削、轧制、再结晶处理和车铣，得到金属靶坯；将所述金属靶坯依次进行弯曲变形和对焊，得到金属管状靶坯；将所述金属管状靶坯与不锈钢管绑定后，得到金属旋转靶材。本发明提供的制备方法能够有效地提高靶材的组织均匀性，极大地提高靶材利用率，且靶材致密度高，内部无缺陷，成品率高，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 旋转 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将金属板坯依次进行轧制、再结晶处理和车铣，得到金属靶坯；将所述金属靶坯依次进行弯曲变形和对焊，得到金属管状靶坯；将所述金属管状靶坯与不锈钢管绑定后，得到金属旋转靶材。
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