[发明专利]一种掩膜版及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201910690580.4 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110257769B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张治超 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版及蒸镀装置，掩膜版包括多个开孔区和多个非开孔区，开孔区位于相邻的非开孔区之间，至少部分相邻的非开孔区之间设置有第一连接结构，第一连接结构贯穿位于对应的相邻非开孔区之间的开孔区且第一连接结构划分对应的开孔区为主体部和至少一个端部，所有非开孔区与所有第一连接结构构成一体结构。通过本发明的技术方案，有利于在实现蒸镀连续网格状结构的同时，降低掩膜版的张网难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：多个开孔区和多个非开孔区，所述开孔区位于相邻的所述非开孔区之间，至少部分相邻的所述非开孔区之间设置有第一连接结构；所述第一连接结构贯穿位于对应的相邻所述非开孔区之间的开孔区且所述第一连接结构划分对应的所述开孔区为主体部和至少一个端部，所有所述非开孔区与所有所述第一连接结构构成一体结构。
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