[发明专利]一种基于矢网测试的氮化镓器件载流子浓度分布分析方法有效
| 申请号： | 201910690682.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110456248B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陆海燕;孔岑;周建军;陈堂胜 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 严海晨 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于矢网测试的氮化镓器件载流子浓度分布分析方法，通过矢网测试器件在不同偏压下的散射参数，通过特定截止等特定状态下数据对器件去嵌，表征出器件本征散射参数，提取低频单频点状态下栅源电容及电压变化规律，进而提取出器件的载流子浓度分布；根据测试所得S参数计算得到器件的电流增益截止频率，根据电流增益截止频率及跨导与栅源电容与栅漏电容容值之和验证所提取栅源电容与栅漏电容容值之和的准确性。优点：1）矢网测试精度高，有效解决专业CV测试仪器无法精确表征小电容的问题。2）根据矢网测试数据表征器件的载流子浓度分布可用于小尺寸器件的工艺监控并验证器件结构设计合理性，为构建器件物理模型提供重要参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 测试 氮化 器件 载流子 浓度 分布 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于矢网测试的氮化镓器件载流子浓度分布分析方法，其特征是通过矢网测试器件在不同偏压下的散射参数，通过截止状态下的器件S参数去嵌表征出器件本征的散射参数，提取低频单频点状态下栅源电容及电压变化规律，进而提取出器件的载流子浓度分布；根据测试所得S参数计算得到器件的电流增益截止频率，根据电流增益截止频率及跨导与栅源电容与栅漏电容容值之和验证所提取栅源电容与栅漏电容容值之和的准确性；包括以下步骤：/n1)测试器件截止状态下S参数提取器件外部寄生电容、电感；/n2)测试器件散射参数提取低频单频点CV特性；/n3)计算器件本征电流增益截止频率及电容随频率变化特性；/n4)提取低频点电容随栅压的变化特性；/n5)计算耗尽层深度，判定提取值得合理性；/n6)求取器件的载流子浓度；/n7)计算器件的载流子浓度分布。/n
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