[发明专利]识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质

摘要

本发明提供一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。所述装置包括：图像采集单元，待检测区域获取单元，以及检测单元。所述设备及存储介质用于实现所述方法。该方法能够自动识别石墨盘高温烘烤的结果，效率高，对结果识别的精准度高，为生产高质量的外延片提供了保障。并且该方法快速高效；同时还可提供制式化数据并传递给MES生产系统，便于后续复查。

主权项

1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：/n通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；/n获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。/n