[发明专利]波前标定方法和装置有效
| 申请号： | 201910692295.6 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112304572B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 叶海水;牛亚军 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张晓霞;刘芳 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种波前标定方法和装置，该方法应用于波前标定装置，该装置包括准直透镜、液体透镜、扩束系统和波前传感器，光源设置在准直透镜的一侧，液体透镜设置在准直透镜的另一侧，准直透镜用于将光源发出的光束变为平行光束；液体透镜设置在扩束系统的入瞳处，波前传感器设置在扩束系统的出瞳处，扩束系统用于将通过液体透镜的平行光的光斑放大，波前传感器用于测量放大光斑后的平行光的波前；该方法包括：通过波前传感器测量液体透镜在不同面形、且不同焦距下的波前；对液体透镜在不同面形、且不同焦距下的波前进行标定。本申请在测量液体透镜在不同面形、且不同焦距下的波前时，不仅可以简化波前的测量步骤，而且可以提高波前测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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