[发明专利]测试图案组和包括其的半导体器件在审
| 申请号： | 201910693225.2 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111192867A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 朴炳哉;金洲铉 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试图案组和包括其的半导体器件。该测试图案组包括多个测试图案。所述多个测试图案的每个包括：基板，包括第一区域和第二区域；第一鳍状物组和第二鳍状物组，第一鳍状物组和第二鳍状物组的每个包括分别在基板的第一区域和基板的第二区域上延伸的鳍状物；第一栅极结构和第二栅极结构，每个分别位于第一鳍状物组和第二鳍状物组上并且形成为与第一鳍状物组和第二鳍状物组的鳍状物交叉；形成在第一源极/漏极上的第一源极/漏极接触；形成在第二源极/漏极上的第二源极/漏极接触；形成在第一栅极结构上的第一栅极接触；形成在第二栅极结构上的第二栅极接触。第一鳍状物组中包括的鳍状物的数量多于第二鳍状物组中包括的鳍状物的数量。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 图案 包括 半导体器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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