[发明专利]一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法及装置在审
| 申请号： | 201910693520.8 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110303257A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 段军;邓磊敏;杨泽齐;熊伟 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/046;B23K26/06 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于激光加工应用技术领域，公开了一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法及装置，该方法是采用超短脉冲激光和连续激光两者同时作为贝塞尔激光光源，将两者同光轴合束得到贝塞尔合成激光束对透明脆性材料进行激光扫描，同时基于该贝塞尔合成激光束中超短脉冲激光部分对透明脆性材料的烧蚀改性机理、以及连续激光部分的热应力切割分离机理，实现激光复合切割分离透明脆性材料。本发明通过对切割方法的切割原理、加工工艺流程的整体设计，以及对应装置的各构成组件及它们的连接关系等进行改进，可一次高速完成切割分离透明脆性材料，无需后续施加分离力或温差进行分离工序，能够简化工艺流程，提高激光切割分离透明脆性材料的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性材料 切割分离 透明 超短脉冲激光 合成激光束 连续激光 激光 工艺流程 复合 切割 激光加工应用 对应装置 分离工序 构成组件 激光光源 激光切割 激光扫描 加工效率 连接关系 整体设计 分离力 热应力 同光轴 改性 合束 烧蚀 温差 施加 加工 改进 | ||
【主权项】：
1.一种激光复合切割分离透明脆性材料的方法，其特征在于，该方法是采用超短脉冲激光和连续激光两者同时作为贝塞尔激光光源，将所述超短脉冲激光与所述连续激光同光轴合束得到贝塞尔合成激光束，利用该贝塞尔合成激光束对待处理的透明脆性材料进行激光扫描，能够同时基于该贝塞尔合成激光束中超短脉冲激光部分对透明脆性材料的烧蚀改性机理、以及连续激光部分对透明脆性材料的热应力切割分离机理，实现激光复合切割分离透明脆性材料；其中，所述超短脉冲激光为皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光。
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