[发明专利]一种基于飞秒激光技术制造微型热电器件的方法

摘要

本发明提供了一种基于飞秒激光技术制造微型热电器件的方法，具体步骤为：制备n型热电材料和p型热电材料；将n型热电材料和p型热电材料分别进行切片，在其表面制备防扩散层Ni层以及Sn层，然后切为一定尺寸的微型粒子，并剔除尺寸不合格的微型粒子后进行摆模；利用飞秒激光技术加工器件上下基板电路并点胶锡膏；将摆模完毕后的粒子与点胶锡膏后的下基板进行自动焊接，焊接完成后的粒子翻面进行上基板自动焊接，组装出微型热电器件。本发明采用飞秒激光技术进行微型器件的高精度快速制造，克服了传统器件生产工艺中原材料浪费严重、加工精度不足及自动化程度低等问题，具有成品率高、操作简单、环境友好等优势。

主权项

1.一种基于飞秒激光技术制造微型热电器件的方法，其特征在于它包括如下步骤：/n1)准备n型热电材料；/n2)准备p型热电材料；/n3)将n型热电材料、p型热电材料均切成薄片；/n4)在步骤3)所得片状n型热电材料、片状p型热电材料上下截面均依次制备防扩散层镍层以及锡层；/n5)利用飞秒激光将步骤4)所得n型热电材料片材、p型热电材料片材分别切为n型、p型微型粒子，然后交错排列摆入模具中；/n6)利用飞秒激光技术加工热电器件的上下基板电路，并点胶锡膏；/n7)将步骤5)中摆模完毕后的微型粒子与步骤6)中点胶锡膏后的下基板进行自动焊接，焊接完成后脱模，随后将粒子翻面进行上基板自动焊接，从而组装出微型热电器件。/n