[发明专利]蒸镀罩以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201910694403.3 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110257777B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 贾松霖;陈营营 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀罩以及蒸镀设备，蒸镀罩用于蒸镀设备，蒸镀设备包括蒸镀源，蒸镀罩包括：遮挡件，遮挡件具有面向蒸镀源的遮挡面；清理部，设于遮挡面与蒸镀源之间，清理部能够相对于遮挡面运动以清理遮挡面。本发明提供的蒸镀罩，能够及时清理蒸镀罩上的杂质，提高蒸镀罩的使用稳定性，避免污染蒸镀设备，提高待蒸镀基板的蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀罩 以及 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸镀设备的蒸镀罩，所述蒸镀设备包括蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀罩包括：遮挡件，所述遮挡件具有面向所述蒸镀源的遮挡面；清理部，设于所述遮挡面与所述蒸镀源之间，所述清理部能够相对于所述遮挡面运动以清理所述遮挡面。
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