[发明专利]干式清洗装置有效
| 申请号： | 201910695018.0 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112296022B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 吉野悟志;郭昊 | 申请（专利权）人： | 理光高科技（深圳）有限公司;雷欧电子株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 谢辰 |
| 地址： | 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供干式清洗装置，其能够检测清洗介质的量，从而能够在确保清洗效果的同时避免清洗介质的浪费。该干式清洗装置具备：清洗部，其具有开口的清洗槽，在所述清洗槽内收纳有清洗介质，所述清洗对象以覆盖所述开口的方式配置；气体供给部，其向所述清洗槽内供给气体；清洗介质检测部，其对清洗槽内的清洗介质的量进行检测；控制部，其根据所述清洗介质检测部的检测值对干式清洗装置进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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