[发明专利]一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910696430.4 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110398536B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 李支康;赵立波;罗国希;赵一鹤;李杰;徐廷中;郭帅帅;刘子晨;贾钦相;王书蓓;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安交通大学苏州研究院 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器及其制备方法，本发明采用石墨烯、二硫化钼以及MXenes(二维过渡金属碳化物或氮化物)等同时具有高弹性模量、气体敏感性以及导电性的多功能材料作为CMUTs敏感元件，即单层悬空薄膜同时用作CMUTs振动薄膜、上电极以及敏感材料层，实现了振动薄膜、上电极以及敏感材料层等多层复合薄膜的一体化设计，可有效减小薄膜质量、提高单元一致性以及谐振频率，进而可实现CMUTs气体传感器检测极限及检测灵敏度等综合性能的大幅提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 薄膜 灵敏度 cmuts 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多功能薄膜高灵敏度CMUTs气体传感器，其特征在于，由上而下依次包括敏感薄膜、空腔(4)、绝缘层(6)以及基底(7)，敏感薄膜用作振动薄膜、上电极以及敏感材料层；基底(7)能够导电，基底(7)用作下电极。
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