[发明专利]基于钛酸锶全介质超材料的太赫兹波调制器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910697425.5 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110320678B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 何晓勇;林方婷;刘锋 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 刘燕武 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及基于钛酸锶全介质超材料的太赫兹波调制器及其制备方法，太赫兹波调制器包括：聚合物柔性衬底层；掺杂半导体外延层：生长在聚合物柔性衬底层表面；生长在半导体硅外延层上的SiO |
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| 搜索关键词： | 基于 钛酸锶全 介质 材料 赫兹 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于钛酸锶全介质超材料的太赫兹波调制器，其特征在于，包括：聚合物柔性衬底层；掺杂半导体外延层：生长在聚合物柔性衬底层表面；生长在半导体硅外延层上的SiO2绝缘‑钛酸锶微结构复合层：其包括位于下方的SiO2绝缘层，以及生长在SiO2绝缘层上的钛酸锶微结构层。
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