[发明专利]一种薄膜型酒精气敏传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910697512.0 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110361426A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 赵康;吴志明;谢光忠 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y40/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜型酒精气敏传感器及其制备方法，涉及气敏传感器技术领域。本发明薄膜型酒精气敏传感器包括依次层叠的碳纤维布衬底、绝缘膜层、叉指电极、氧化锌薄膜层、氧化钛薄膜层。本发明通过在柔性碳纤维布衬底制备绝缘膜层，减少传统基体材料的硬度和厚度，且提高了基体材料的强度、柔韧性和耐高温、耐腐蚀性，降低了柔性电极的制作难度，同时稳定性好，双层非晶氧化物半导体膜具有较好的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 酒精气敏传感器 薄膜型 制备 绝缘膜层 非晶氧化物半导体膜 氧化锌薄膜层 检测灵敏度 气敏传感器 柔性碳纤维 氧化钛薄膜 柔韧性 叉指电极 传统基体 基体材料 耐腐蚀性 柔性电极 碳纤维布 依次层叠 耐高温 布衬 衬底 制作 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜型酒精气敏传感器，其特征在于：包括依次层叠的碳纤维布衬底（1）、绝缘膜层（2）、叉指电极（5）、氧化锌薄膜层（3）、氧化钛薄膜层（4）。
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