[发明专利]一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法，XY方向偏转电机的伸缩带动压电陶瓷底座在XY平面以第一固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动，XZ方向偏转电机的伸缩带动XY方向偏转底座在XZ平面以第二固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动，可以实现对干涉仪用压电陶瓷的俯仰偏转姿态和水平偏转姿态两个维度的角度偏转进行精准电动调节，偏转调节的精度高，偏转角度可达±4°，并且，整体结构紧凑，便于集成。由于干涉条纹的姿态调整由参考镜的偏转实现，压电陶瓷与参考镜固定在一起，因此，上述干涉仪用压电陶瓷控制装置可以实现对干涉条纹的幅度和偏转角度的精准电动调节。

主权项

1.一种干涉仪用压电陶瓷控制装置，其特征在于，包括：用于承载、固定压电陶瓷的压电陶瓷底座、位于所述压电陶瓷底座下方的XY方向偏转底座、XY方向偏转电机、位于所述XY方向偏转底座下方的XZ方向偏转底座、XZ方向偏转电机；其中，所述XY方向偏转电机与所述XY方向偏转底座固定连接，所述XY方向偏转电机的推力端穿过所述XY方向偏转底座中的第一贯穿孔与所述压电陶瓷底座沿X轴方向的一端保持接触状态，所述压电陶瓷底座沿X轴方向的另一端通过第一转轴结构与所述XY方向偏转底座转动连接；所述XY方向偏转电机穿过所述XY方向偏转底座的部分与所述第一贯穿孔间隙配合，所述第一贯穿孔的中心轴沿Y轴方向；所述第一转轴结构的中心轴沿Z轴方向，所述第一转轴结构由第一固定轴与第一轴承过盈配合组成，所述第一固定轴与所述压电陶瓷底座中的第二贯穿孔过渡配合，所述第一轴承与所述XY方向偏转底座中的第三贯穿孔过渡配合；所述XZ方向偏转电机与所述XZ方向偏转底座固定连接，所述XZ方向偏转电机的推力端穿过所述XZ方向偏转底座中的第四贯穿孔与所述XY方向偏转底座沿X轴方向的一端保持接触状态，所述XY方向偏转底座沿X轴方向的另一端通过第二转轴结构与所述XZ方向偏转底座转动连接；所述XZ方向偏转电机穿过所述XZ方向偏转底座的部分与所述第四贯穿孔间隙配合，所述第四贯穿孔的中心轴沿Z轴方向；所述第二转轴结构的中心轴沿Y轴方向，所述第二转轴结构由第二固定轴与第二轴承过盈配合组成，所述第二固定轴与所述XY方向偏转底座中的第五贯穿孔过渡配合，所述第二轴承与所述XZ方向偏转底座中的第六贯穿孔过渡配合；所述XZ方向偏转电机与所述XY方向偏转电机位于所述XY方向偏转底座与所述XZ方向偏转底座沿X轴方向的同一端，所述第一转轴结构与所述第二转轴结构位于所述XY方向偏转底座与所述XZ方向偏转底座沿X轴方向的同一端；所述压电陶瓷底座与所述XY方向偏转底座在设置所述XY方向偏转电机的一端通过第一拉伸弹簧连接，所述XY方向偏转底座连接所述第一拉伸弹簧的连接点比所述压电陶瓷底座连接所述第一拉伸弹簧的连接点靠近所述XY方向偏转电机；所述XY方向偏转底座与XZ方向偏转底座在设置所述XY方向偏转电机的一端通过第二拉伸弹簧连接，所述XZ方向偏转底座连接所述第二拉伸弹簧的连接点比所述XY方向偏转底座连接所述第二拉伸弹簧的连接点靠近所述XY方向偏转电机。