[发明专利]微弱光源罗兰光栅线阵CCD/CMOS检测器分光系统及方法在审
申请号: | 201910699043.6 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN110596077A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 袁良经;贾云海;于雷;何淼;王立平 | 申请(专利权)人: | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G02B27/09 |
代理公司: | 11248 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 李彬;张小娟 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于原子发射光谱技术领域,涉及一种微弱光源罗兰光栅线阵CCD/CMOS检测器分光系统及方法,应用于大于等于5μm的微米级微束激光诱导击穿光谱仪。该分光系统沿光束的传播方向依次包括平凸透镜(2)、第一柱面透镜(3)、入射狭缝(4)、凹面光栅(5)、第二柱面透镜(6)和CCD/CMOS检测器(7);其中,入射狭缝(4)、凹面光栅(5)和CCD/CMOS检测器(7)位于罗兰圆上,光源(1)、平凸透镜(2)和第一柱面透镜(3)位于罗兰圆外,并与入射狭缝(4)和凹面光栅(5)共线。本发明与传统罗兰光学系统对比,具有光学分辨力强、信号放大倍数高、信噪比高等特点,特别适用于微束激光光谱仪的单脉冲和多个脉冲的光谱分析。 | ||
搜索关键词: | 检测器 凹面光栅 入射狭缝 柱面透镜 分光系统 平凸透镜 罗兰圆 微束 激光诱导击穿 原子发射光谱 光谱仪 传播方向 光谱分析 光学系统 激光光谱 微弱光源 单脉冲 光栅线 微米级 信噪比 脉冲 共线 光源 分辨 应用 | ||
【主权项】:
1.一种微弱光源罗兰光栅线阵CCD/CMOS检测器分光系统,应用于≥5μm的微米级微束激光诱导击穿光谱仪,其特征在于:/n该分光系统沿光束的传播方向依次包括平凸透镜(2)、第一柱面透镜(3)、入射狭缝(4)、凹面光栅(5)、第二柱面透镜(6)和CCD/CMOS检测器(7);/n其中,入射狭缝(4)、凹面光栅(5)和CCD/CMOS检测器(7)位于罗兰圆上,光源(1)、平凸透镜(2)和第一柱面透镜(3)位于罗兰圆外,并与入射狭缝(4)和凹面光栅(5)共线。/n
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