[发明专利]金相显微镜矩阵归一化校正方法有效
申请号: | 201910699157.0 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN110455797B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 袁良经;贾云海;张翘楚;于雷;张纯岩 | 申请(专利权)人: | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01;G02B21/00 |
代理公司: | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 | 代理人: | 李彬;张小娟 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明属于金相分析技术领域,特别涉及一种金相显微镜矩阵归一化校正方法,适用于多个金相显微镜同时工作的大面积样品快速金相分析。该金相显微镜矩阵由i×j个金相显微镜组成,将待分析样品表面分割成多个区域,i×j个金相显微镜同时对样品表面进行显微放大、聚焦拍照;通过对标准化样品进行九点采集、十字运行轨迹计算每个金相显微镜的C’ |
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搜索关键词: | 金相 显微镜 矩阵 归一化 校正 方法 | ||
【主权项】:
1.一种金相显微镜矩阵归一化校正方法,该金相显微镜矩阵由i×j个金相显微镜组成,其特征在于:所述校正方法包括如下步骤:/n(1)用激光器在经抛光制样后的样品上激发一次,形成斑点;将样品放置在金相显微镜矩阵下方,并调整焦距使金相显微镜矩阵聚焦在样品表面;/n(2)将斑点中心移动至金相显微镜矩阵的任意一个金相显微镜C’ij(i=0,1,2,…m;j=0,1,2,…n)所对应的显微相机的中心处,采集图像,并通过最小外接矩形法求取并记录斑点中心坐标;在样品表面,以该坐标点为原点,在所选定的金相显微镜C’ij的平面直角坐标系的X正轴和负轴上分别间隔一定距离选定多对相互对称的坐标点,在Y正轴和负轴上分别间隔一定距离选定多对相互对称的坐标点;/n将所有坐标点按一定顺序依次移动到所选定的金相显微镜C’ij所对应的显微相机的中心处,采集图像,并通过最小外接矩形法求取各坐标点的斑点中心坐标;/n根据所得各坐标点的斑点中心坐标值,计算所选的金相显微镜C’ij的安装位置与运动方向的角度偏差α’ij、表观长度l’i和坐标值(x’ij,y’ij);/n(3)采用与步骤(2)相同的方式遍历金相显微镜矩阵的所有金相显微镜,获得所有金相显微镜的安装位置与运动方向的角度偏差αij、表观长度li和坐标值(xij,yij);/n(4)将步骤(2)所选定的金相显微镜C’ij的表观长度l’i归一为1微米/像素;L’i=k×l’i;/n式中,L’i为归一后的表观长度,k为归一系数,l’i为所选定的金相显微镜C’ij的表观长度;/n(5)以所选定的金相显微镜C’ij为标准,通过如下公式计算金相显微镜矩阵中每个金相显微镜的坐标偏差(Δxij,Δyij)以及表观长度偏差Δli;/nΔxij=xij-x’ij;/nΔyij=yij-y’ij;/nΔli=li/L’i=li/(k×l’i);/n(6)保存各金相显微镜的安装位置与运动方向的角度偏差αij、坐标偏差(Δxij,Δyij)以及表观长度偏差Δli,实现金相显微镜矩阵的校正。/n
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