[发明专利]低刚度的磁悬浮重力补偿器、驱动装置及六自由度微动台

摘要

本发明公开了一种低刚度的磁悬浮重力补偿器、驱动装置及六自由度微动台，属于半导体制造装配领域，重力补偿器包括动子结构和定子结构；动子结构由磁铁支架和若干对平行设置于磁铁支架侧壁上的永磁阵列块构成；定子结构由定子底座、线圈支架和中心永磁铁构成；定子中心永磁铁在动子永磁阵列块产生的气隙磁场中受到磁吸力和磁斥力，实现动子结构及负载的重力补偿。并在线圈支架凹槽左右和凸台上下设置两组线圈，与磁悬浮重力补偿器动子结构构成驱动装置，实现水平、垂直二自由度组合驱动；由对称布置的四个重力补偿器及驱动装置构成六自由度微动台。本发明实现了动子结构及负载在较宽运动范围内近零刚度磁力悬浮，组合驱动装置结构简单、质量轻。

主权项

1.一种低刚度的磁悬浮重力补偿器，包括动子结构及定子结构，其特征在于，所述动子结构包括动子永磁阵列块和动子磁铁支架，所述定子结构包括定子底座、定子中心永磁铁及定子线圈支架；所述动子永磁阵列块包括若干对动子永磁铁，每对动子永磁铁分别平行设置于所述动子磁铁支架形成的凹槽的两个相对的侧壁上；所述定子线圈支架的中间为空心立方体凹槽，以用于安装所述定子中心永磁铁；所述定子中心永磁铁在所述动子永磁阵列块产生的气隙磁场中，以由所述动子永磁阵列块对所述定子中心永磁铁施加磁吸力和磁斥力，以实现所述动子结构及负载的重力补偿。