[发明专利]一种非易失性铁电存储器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910701759.5 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112310214B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 江安全;柴晓杰;江钧;连建伟;敖孟寒 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/11502;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种非易失性铁电存储器及其制备方法，所述铁电存储器包括铁电存储层、第一电极和第二电极，所述铁电存储层中的电畴的极化方向基本不平行所述铁电存储层的法线方向；所述第一电极和第二电极结构相同，均包括在所述铁电存储层的表层中构图形成的埋入式导电层以及形成在所述埋入式导电层上的电极层；在所述第一电极和第二电极之间施加在某一方向上的写信号时使能位于一对埋入式导电层之间的部分铁电存储层的电畴反转，以至于能够建立连接第一电极和第二电极的畴壁导电通道。与现有技术相比，本发明能够避免刻蚀过程容易对铁电材料产生的破坏，提高铁电存储器的存储性能，在数据保持性能、开态读电流等方面表现优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非易失性铁电 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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